Magnetroninio purškimo (PVD) technologija yra viena iš pagrindinių plonasluoksnių medžiagų paruošimo technologijų. Didelio-grynumo titano purškimo tikslinės medžiagos yra pagrindinės magnetroninio purškimo proceso eksploatacinės medžiagos ir turi plačias pritaikymo rinkoje perspektyvas. Kaip didelės-vertės-dengimo medžiagai, titano tikslinėms medžiagoms taikomi griežti cheminio grynumo, mikrostruktūros ir veikimo reikalavimai, jos yra labai techninės ir sunkiai apdorojamos.
Magnetronu purškiančios titano tikslinės medžiagos daugiausia naudojamos elektronikos ir informacijos pramonėje, pvz., integriniuose grandynuose, plokščiuose ekranuose ir dekoratyvinės dangos srityse namų apdailos ir automobilių pramonėje, pvz., stiklo dekoratyvinė danga ir ratų stebulės dekoratyvinė danga, kaip parodyta 1 paveiksle. tikslumu. Titano tikslinių medžiagų, skirtų integriniams grandynams, grynumas daugiausia viršija 99,995%, o šiuo metu jie daugiausia priklauso nuo importo. Plokščiuose ekranuose naudojamų tikslinių titano medžiagų rinkoje skystųjų kristalų ekranų (LCD) rinka yra didžiausia ir sudaro daugiau nei 90 proc. Šiuo metu LCD laikomas perspektyviausiu plokščiaekraniu ekranu. Jo atsiradimas labai išplėtė ekranų taikymo sritį – nuo nešiojamųjų kompiuterių ekranų, stalinių kompiuterių monitorių, didelės raiškos LCD televizorių iki mobiliojo ryšio. Įvairūs nauji LCD produktai daro įtaką žmonių gyvenimo įpročiams ir skatina sparčią pasaulio informacijos pramonės plėtrą.
Titano tikslinių medžiagų grynumas turi didelę įtaką purškiamų plėvelių veikimui. Kuo didesnis grynumas, tuo mažiau priemaišų elementų dalelių purškiamoje titano plėvelėje, todėl plėvelė geriau veikia, įskaitant didesnį atsparumą korozijai ir elektrines bei optines savybes. Paprastai titano tikslinės medžiagos turi polikristalinę struktūrą, o grūdelių dydis svyruoja nuo mikrometrų iki milimetrų. Smulkios-grūdės tikslinės medžiagos turi didesnį purškimo greitį nei stambiagrūdžiai{4}}. Taikiniams, kurių grūdelių dydis yra panašus ant purškiamo paviršiaus, purškiamos nusodintos plėvelės storio pasiskirstymas taip pat yra vienodesnis.
